半導体製造装置 6146プライム27,545+580 ⬆︎ +2.15%ディスコ 6728プライム4,625+122 ⬆︎ +2.71%アルバック 7729プライム7,928+197 ⬆︎ +2.55%東京精密 7735プライム9,125+88 ⬆︎ +0.97%SCREENホールディングス 8035プライム20,385+735 ⬆︎ +3.74%東京エレクトロン