半導体製造装置 6146プライム35,150-680 ⬇︎ -1.90%ディスコ 6728プライム5,100-76 ⬇︎ -1.47%アルバック 7729プライム8,391-379 ⬇︎ -4.32%東京精密 7735プライム10,595-475 ⬇︎ -4.29%SCREENホールディングス 8035プライム23,465-665 ⬇︎ -2.76%東京エレクトロン